微焦点平面CT检测系统
采用开放式微焦点X射线源、高灵敏度探测器和高精度机械运动控制系统，保证样品检测时的高空间分辨率和精确的运动定位精度，重构出扫描区三维断层图像，可以在离线、线边和在线应用，实现对板状结构检测器件及板状电器器件缺陷分析和制造缺陷的空间定位与检测。
1. 应用领域
大尺寸板状样品缺陷检测；
半导体、SMT质量检测、DIP、电子元器件质量检测；
电子制造PCB、PCBA制程中的偏位、虚焊、开路等缺陷检测，多层电路板或无元器件的裸板质量检测等。
2. 产品优势
Microfocus的X射线管技术，检测缺陷可达2um；
射线源自动强度控制（AIC）以确保连续工作射线的稳定性；
具备检测区域大、分辨率强、放大倍率高等特点；
大尺寸板状样品无需破坏，仍可获得高分辨率；
预设ADR（自动缺陷识别）扩展接口；
图像处理软件具备HDR处理功能。